【摘 要】
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采用熔炼、均匀化退火处理及温轧技术制备出NiPt合金靶材。采用金相、扫描电镜（SEM）、X射线衍射（XRD）等手段对NiPt合金在制备过程中的结构变化进行了研究。同时也研究了靶材结构
【机 构】
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贵研铂业股份有限公司稀贵金属综合利用新技术国家重点实验室、昆明贵金属研究所云南省贵金属材料重点实验室
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采用熔炼、均匀化退火处理及温轧技术制备出NiPt合金靶材。采用金相、扫描电镜（SEM）、X射线衍射（XRD）等手段对NiPt合金在制备过程中的结构变化进行了研究。同时也研究了靶材结构与靶材溅射后表面形貌之间的关联性。研究表明,均匀化处理对NiPt合金获得择优取向具有明显影响,合金经过铸造、均匀化、轧制等工艺,其硬度分别为292、218、439,可分别形成（200）织构、（311）织构、（200）＋（220）织构。靶材微观结构与溅射后表面形貌均匀性具有关联性。
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