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有机发光二极管显示器的膜层制造工艺可划分为湿法和干法两种类型.本文仅就应用真空技术的角度,描述了有机EL元件制造工艺和有机EL生产系统.
有机发光二极管显示器的制造工艺
【摘 要】
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有机发光二极管显示器的膜层制造工艺可划分为湿法和干法两种类型.本文仅就应用真空技术的角度,描述了有机EL元件制造工艺和有机EL生产系统.
【机 构】
：
安阳电子管厂
【出 处】
：
真空电子技术
【发表日期】
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2003年3期
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