【摘 要】
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硅化钨MIP工艺在集成电路和半导体器件制造中有着广泛的应用,但硅化钨膜在后续的侧墙工艺中容易出现剥落问题现象。通过对硅化钨材料特性,以及与电路制造相关联工艺的深入分
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硅化钨MIP工艺在集成电路和半导体器件制造中有着广泛的应用,但硅化钨膜在后续的侧墙工艺中容易出现剥落问题现象。通过对硅化钨材料特性,以及与电路制造相关联工艺的深入分析,发现在一定温度下,硅化钨的表面会产生富钨硅化物,它与氧气反应时会形成氧化钨,从而造成硅化钨膜的剥落。为避免氧化钨的形成,从减少富钨硅化物的形成、降低钨化硅与氧气的反应温度,以及减少参与反应的氧气量三个方面着手,在大量工艺试验的基础上提出了一种能有效防止硅化钨膜剥落的优化工艺。
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