【摘 要】
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本文介绍的扩散炉降温控制装置能够实现长时间的线性降温与降温终值的自动控制。解决了高温扩散炉缓慢降温要求,该装置可实现多台阶降温工艺曲线的半自动控制。
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本文介绍的扩散炉降温控制装置能够实现长时间的线性降温与降温终值的自动控制。解决了高温扩散炉缓慢降温要求,该装置可实现多台阶降温工艺曲线的半自动控制。
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