扩散炉降温控制装置

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本文介绍的扩散炉降温控制装置能够实现长时间的线性降温与降温终值的自动控制。解决了高温扩散炉缓慢降温要求,该装置可实现多台阶降温工艺曲线的半自动控制。 This article describes the diffusion furnace cooling control device to achieve a long time linear cooling and cooling the final value of the automatic control. The invention solves the requirement of slow cooling of the high temperature diffusion furnace, and the device can realize the semi-automatic control of the multi-step cooling process curve.
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