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介绍了微型机电系统（ＭＥＭＳ）的基本概念，发展简史和主要特点。详细讨论了ＭＥＭＳ在化学分析中的应用，指出ＭＥＭＳ技术使化学分析仪器微小型化、性能提高，同时还降低了仪器和实验的成本。最后简要介绍了微小型化学分析仪器的支撑技术。
微型机电系统在物化分析中的应用
【摘 要】
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介绍了微型机电系统（ＭＥＭＳ）的基本概念，发展简史和主要特点。详细讨论了ＭＥＭＳ在化学分析中的应用，指出ＭＥＭＳ技术使化学分析仪器微小型化、性能提高，同时还降低了仪器和实验的成本。最后简要介绍了
【机 构】
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北方工业大学基础学院
【出 处】
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分析测试技术与仪器
【发表日期】
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1997年3期
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