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本文对半导体器件的失效做了详尽分析，并介绍了几种常用的失效检测方法。
半导体器件失效分析与检测
【摘 要】
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本文对半导体器件的失效做了详尽分析，并介绍了几种常用的失效检测方法。
【机 构】
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深圳市深爱半导体公司
【出 处】
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仪表技术与传感器
【发表日期】
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1997年12期
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