【摘 要】
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以溶胶凝胶法成长了锂与镁共掺杂氧化锌纳米薄膜,并且探讨了锂掺杂与镁掺杂对薄膜结构、光学特性及电性质的影响。结果发现,锂掺杂量增加时XRD的2θ值向低角度偏移,VO缺陷随
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以溶胶凝胶法成长了锂与镁共掺杂氧化锌纳米薄膜,并且探讨了锂掺杂与镁掺杂对薄膜结构、光学特性及电性质的影响。结果发现,锂掺杂量增加时XRD的2θ值向低角度偏移,VO缺陷随锂掺杂量增加而变大,进而使薄膜内含氧量降低且呈富锌（Zn-rich）态。在富锌状态下Lii缺陷增加,进而使得电子浓度增大。镁掺杂能降低,VO缺陷形成,使薄膜内含氧量提高而转向富氧（O-rich）态,在偏富氧态下Lii缺陷形成几率降低,LiZn缺陷形成几率增大。锂掺杂氧化锌薄膜的导电型态为n型,再掺杂镁时则能提升含氧量而抑制施体型缺陷的形成,
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