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针对光学元件表面污染物，设计了污染物检测仪系统。阐述了系统硬件和软件的构成，简单介绍了污染物图像的处理，分析了相机在扫描过程中的运动控制，以及高精度的运动控制的实现。最后提出了污染物与疵病区分的理论与方法。
光学元件表面污染物检测仪系统研究与开发
【摘 要】
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针对光学元件表面污染物，设计了污染物检测仪系统。阐述了系统硬件和软件的构成，简单介绍了污染物图像的处理，分析了相机在扫描过程中的运动控制，以及高精度的运动控制的实现。最
【机 构】
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重庆大学机械工程学院
【出 处】
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机械与电子
【发表日期】
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2008年12期
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