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介绍了激光干涉法测三面静压转台回转精度的原理及测量方法，分析了激光干涉仪在回转轴运动位置精度测量中的主要误差诱因；作出了角度测量中正弦近似误差特性曲线，并建立了该测量误差的数学模型，为机床的运动精度误差补偿提供了数据。经现场检验，该方案简便易行，成效显著。
三面静压转台回转精度干涉测量与误差处理
【摘 要】
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介绍了激光干涉法测三面静压转台回转精度的原理及测量方法，分析了激光干涉仪在回转轴运动位置精度测量中的主要误差诱因；作出了角度测量中正弦近似误差特性曲线，并建立了该测量
【机 构】
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北京信息科技大学机电工程学院机械工业多轴复合机床关键部件研究重点实验室
【出 处】
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现代制造工程
【发表日期】
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2012年4期
【基金项目】
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北京市科技计划项目（D08010400130801）
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