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采用吸附-离子交换-膜分离集成纯化制备了超净高纯过氧化氢,讨论了过氧化氢中各种树脂的温度变化、不同膜对过氧化氢中颗粒脱除的影响和过氧化氢纯化效果.此外,分析了超净高纯化学品生产中存在的问题,为今后的高纯超净化学品提出了方向.
超大规模集成电路用超净高纯过氧化氢的制备研究
【摘 要】
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采用吸附-离子交换-膜分离集成纯化制备了超净高纯过氧化氢,讨论了过氧化氢中各种树脂的温度变化、不同膜对过氧化氢中颗粒脱除的影响和过氧化氢纯化效果.此外,分析了超净高
【机 构】
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华东理工大学化学工程研究所,上海华谊微电子化学品有限公司
【出 处】
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化学试剂
【发表日期】
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2005年10期
【基金项目】
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国家高技术研究发展计划(863计划)
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