ZZ-3200J型高真空镀膜机的研制

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【摘要】

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本文叙述ＺＺ－３２００Ｊ型高真空镀膜机的结构性能并就设备中蒸发源的最佳配置。真空系统软连接等问题进行探讨。 This article describes the ZZ-3200J-type high vacuum coating machine

【作者】

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李云奇徐成海关奎之王继常张世伟崔承霖王文昌邵云飞曹淑艳孙能运

【机构】

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东北大学,东北大学,东北大学,东北大学,东北大学,兰菱真空设备厂,兰菱真空设备厂,兰菱真空设备厂,兰菱真空设备厂,兰菱真空设备厂沈阳市　 110006,沈阳市　 110006,沈阳市　 110006

【出处】

：

真空

【发表日期】

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1993年04期

【关键词】

：

真空镀膜机 ZZ-3200J 高真空最佳配置软连接镀膜机镀膜过程镜片室内装饰电极立柱

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本文叙述ＺＺ－３２００Ｊ型高真空镀膜机的结构性能并就设备中蒸发源的最佳配置。真空系统软连接等问题进行探讨。 This article describes the ZZ-3200J-type high vacuum coating machine structural properties and the best equipment in the evaporation source configuration. Vacuum system soft connection and other issues to be explored.

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