【摘 要】
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硅微机械技术是一种新兴技术,它几乎影响着每一个科学技术领域,如汽车、移动通信、航天、化学以及光波系统.目前许多工业领域期待选用微/纳电子机械系统来解决技术上的问题.
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硅微机械技术是一种新兴技术,它几乎影响着每一个科学技术领域,如汽车、移动通信、航天、化学以及光波系统.目前许多工业领域期待选用微/纳电子机械系统来解决技术上的问题.概括地说,是用标准的集成电路技术实现的.用硅晶片作基底沉积多层膜系,如氮化物、多晶硅、氧化物和各种金属膜系,用制造集成电路的方法可以制造复杂的三维结构.然而,这种结构并不是集成电路,还要通过蚀刻去氧化物释放器件以生产出能运动的结构.在制作工艺上做细微的改变就能生产可运动的器件,诸如旋转齿轮、铰链、平台和柔性梁以及各种类型的电机.在光纤通信应用方
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