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运用SRIM2006软件对Nd2Fe14B靶溅射过程进行了模拟，并就入射离子的入射能量和角度进行了分析，得到溅射产额与入射离子能量、入射角度以及溅射靶材的一般规律：1）溅射产额随着入射离子能量的增加而增加，在低能量区域增加很快，到了高能量区域增加变缓；2）溅射产额随着入射离子入射角度的增大逐渐增大，且在70°～80°出现极大值，如当入射离子的入射角度为75°，入射离子能量为7keV时，溅射产额可达4，398（原子·离子^-1）；3）溅射原子的摩尔比与靶材原子摩尔比存