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功率超声珩磨振动控制技术的主要部分在于其振子系统，其主要问题在于在超声频率范围内难以获得其稳定的振动状态，从而使超声振动加栽上去之后难以实现能量利用的最大化。本研究通过改进Ф150mm功率超声立式珩磨装置的声振子系统的挠性杆，并对四种不同情况进行有限元分析，得到了它们在（14～22）kHz频率范围内的振幅分布情况。据此成功优化了原来的声振子系统。