论文部分内容阅读
中微半导体设备有限公司迎来了一个重要的里程碑：中微反应台交付量突破400台（相当于100台系统设备）。具有里程碑意义的第400个反应台是先进的电介质刻蚀反应台，已交付台湾一家领先客户。这400个反应台已在33条客户生产线上投入运行，包括电介质刻蚀设备、硅通孔刻蚀设备和用于LED及功率器件生产的MOCVD设备。