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本文以EACVD镀膜设备的衬底温度为控制目标,选取西门子300系列PLC为控制核心,并扩展模拟量输入模块SM331采集电信号,和其他模块实现数字量输入/输出和模拟量输出,完成一套温控系统的设计,研究了PID控制与模糊控制在PLC中的实现技术,并基于Matlab/simulink进行了仿真验证。
基于PLC的EACVD镀膜设备控制技术研究
【摘 要】
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本文以EACVD镀膜设备的衬底温度为控制目标,选取西门子300系列PLC为控制核心,并扩展模拟量输入模块SM331采集电信号,和其他模块实现数字量输入/输出和模拟量输出,完成一套温
【机 构】
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安徽省机械科学研究所有限责任公司
【出 处】
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科学技术创新
【发表日期】
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2019年25期
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