【摘 要】
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3D垂直结构为降低制造成本提供了一条有效途径,同时亦不用依赖极远紫外光刻(EUV)技术。3D垂直结构对制造过程(新材料属性)和设备(精确到原子层控制)提出了严格的要求,一旦攻
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3D垂直结构为降低制造成本提供了一条有效途径,同时亦不用依赖极远紫外光刻(EUV)技术。3D垂直结构对制造过程(新材料属性)和设备(精确到原子层控制)提出了严格的要求,一旦攻克这些技术难关,相信3D垂直结构的应用指日可待。
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