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综述了四氯化硅热氢化法、氯氢化法和等离子体氢化法制备三氯氢硅的最新进展，并对这3种技术进行了对比。
四氯化硅氢化研究进展
【摘 要】
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综述了四氯化硅热氢化法、氯氢化法和等离子体氢化法制备三氯氢硅的最新进展，并对这3种技术进行了对比。
【机 构】
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江苏中能硅业科技发展有限公司
【出 处】
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氯碱工业
【发表日期】
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2010年6期
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