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针对三坐标测量机表面数据化测量过程，本文给出一种实用的测头半径补偿算法。提出了采用两次细化测量点的策略，首先沿测量线进行测量点的插值细化，然后在测量线（截面）之间再次进行插值细化。在此基础上．对整个被测表面上各细化点，利用插值求导的方法求出其横向和纵向切向量，然后对切向量叉积求得各细化点的法向量．最后进行测头半径补偿计算。