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两步氧离子注入工艺制备SOI材料研究

来源 :科学通报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：CANDICE301

【作 者】

：

魏星  薛忠营  武爱民  王湘  李显元  叶斐  陈杰  陈 

【出 处】

：

科学通报

【发表日期】

：

2010年07期

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