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出现于８０年代后斯的微机械工艺技术可提供微米尺度的传感器和致动器，这些模型转换器与信号调节和处理电路集成后，组成了可执行分布式实时控制的微电子机械系统（ＭＥＭＳ）这种性能为流动控制研究开辟了一个崭新的领域，另一方面，由于微米尺度结构表面与体积之比很大，在流体流径这些微小机械器件时，表面效应占据了主导地位，为此需要重新审视动量方程中的各类表面力项，由于它们非常小，气体流动具有很大的Ｋｎｕｄｅｓｎ数，