1024元线列PtSi肖特基势垒红外CCD

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介绍了我们研制的1024元线列PtSi肖特基势垒红外电荷耦合器件(CCD)。器件采用最小2微米设计规则,两层多晶硅结构。器件的像元尺寸为30um×30μm。器件采用品字形排列,占空比为100%。1024位探测器存储的电荷分两路CCD到同一个浮置扩散放大器上输出。器件在80K温度下工作。在积分时间为4毫秒及镜头为F/1条件下,器件噪声等效温差为0.1K。用1000K黑体测得探测率D^*为9.8×10^*cm·Hz^1/2。·W^-1。器件响应不均匀性为4.8%。介绍器
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