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通过对石油勘探领域应用的电容式MEMS加速度检波器的研究,重点提出提高MEMS检波器的动态、静态、稳定性指标的方法及理论根据,并通过试验进一步证明方法的正确性及可行性。
提高MEMS检波器技术指标的研究
【摘 要】
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通过对石油勘探领域应用的电容式MEMS加速度检波器的研究,重点提出提高MEMS检波器的动态、静态、稳定性指标的方法及理论根据,并通过试验进一步证明方法的正确性及可行性。
【机 构】
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威海双丰电子集团,山东省煤田地质局物探测量队,威海职业学院
【出 处】
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仪表技术与传感器
【发表日期】
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2012年02期
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