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改进了用于定量测量样品表面形貌的微分相衬干涉显微镜系统,对系统中由Nomarski棱镜引起的相位差β的消零工作提出了一种新的方法,实验证明是有效可靠的,并且对样品表面三维形貌重构、截面轮廓比对及系统的测量精度进行了实验研究.
微分相衬干涉显微镜定量测量表面形貌
【摘 要】
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改进了用于定量测量样品表面形貌的微分相衬干涉显微镜系统,对系统中由Nomarski棱镜引起的相位差β的消零工作提出了一种新的方法,实验证明是有效可靠的,并且对样品表面三维
【机 构】
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清华大学精密仪器系,中国科学院西安光机所
【出 处】
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光学精密工程
【发表日期】
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2001年3期
【基金项目】
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国家自然科学基金资助 (批准号 :5 9975 0 5 2 )
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