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介绍了一种基于光驱聚焦探测技术的光触针式表面形貌测量系统。测量光束聚焦于被测表面上，当被测表面高度变化时，Z向精密位移工作台在步进电机和压电陶瓷的粗、精两级驱动下，使得工件沿垂直方向移动，让焦点始终聚焦在被测表面上，工作台的位移反映了工件表面高度的变化，该位移量由衍射光栅干涉位移传感器测得。该系统的垂直分辨力为1nm，垂直测量范围为2mm左右。