【摘 要】
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基于谐振式硅微压力传感器敏感结构设计原理,结合不确定度分析方法,分析了各结构尺寸对敏感结构固有频率以及检测灵敏度的影响.建立基于样本的随机模型在考虑尺寸加工误差的
【机 构】
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北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院
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基于谐振式硅微压力传感器敏感结构设计原理,结合不确定度分析方法,分析了各结构尺寸对敏感结构固有频率以及检测灵敏度的影响.建立基于样本的随机模型在考虑尺寸加工误差的同时,评估了谐振敏感结构各个结构尺寸传感器固有频率以及检测灵敏度的影响大小并进行了比较,从而获得了对传感器性能起关键作用的影响因素.以上的结果可以为相应传感器敏感结构设计与优化提供参考.
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