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半导体器件铝腐蚀的判别方法研究
半导体器件铝腐蚀的判别方法研究
来源 :中国空间科学技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:maxzhk
【摘 要】
:
半导体器件内部铝腐蚀是卫星用半导体器件主要的失效模式之一,快速准确地判断铝腐蚀具有重要意义。文章给出了判别方法和程序,并对方法中的关键技术进行研讨。
【作 者】
:
夏泓
江理东
【机 构】
:
北京卫星环境工程研究所,北京卫星环境工程研究所
【出 处】
:
中国空间科学技术
【发表日期】
:
1993年4期
【关键词】
:
半导体器件
铝腐蚀
失效模式
Semiconductor device
Aluminium
Corrosion
Failure mode
Diseriminat
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半导体器件内部铝腐蚀是卫星用半导体器件主要的失效模式之一,快速准确地判断铝腐蚀具有重要意义。文章给出了判别方法和程序,并对方法中的关键技术进行研讨。
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