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固态介质击穿寿命特性通常用威布尔分布来描述，形状参数β反应了固态介质的失效特征，因而需要精确估计β值。提出了在小样本情况下基于最小二乘支持向量机（LSSVM）的参数评估方法，并给出了LSSVM在MOS电容与时间有关的击穿寿命分布评估中的应用实例，并与常规的最小二乘评估方法相比，得到的结果表明LSSVM的评估精度更高（均方误差更小）、鲁棒性更好，在小样本情况下能更精确地确定威布尔分布的形状参数。