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Effect of Internal Antenna Coil Power on the Plasma Parameters in 13.56 MHz/60 MHz Dual-Frequency Sp
Effect of Internal Antenna Coil Power on the Plasma Parameters in 13.56 MHz/60 MHz Dual-Frequency Sp
来源 :黑龙江科技学院学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:qq345071009
【摘 要】
:
为探究吕家坨井田地质构造格局,根据钻孔勘探资料,采用分形理论和趋势面分析方法,研究了井田7
【作 者】
:
HUANG Fupei
YANG Chicheng
YE C
【机 构】
:
School of Physics Science and Technology, Jiangsu Key Laboratory of Thin Films, Soochow University,
【出 处】
:
黑龙江科技学院学报
【发表日期】
:
2013年12期
【关键词】
:
hybrid ICP/sputtering discharge
plasma property
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为探究吕家坨井田地质构造格局,根据钻孔勘探资料,采用分形理论和趋势面分析方法,研究了井田7<
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