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采用磁过滤阴极弧法，以金属Zr为阴极在真空室中通入C2H2和N2混合气体来制备纳米nc-ZrCN／a-C：H（N）复合薄膜，用X射线衍射（XRD）、扫描电镜的能谱仪（SEM-EDS）、X射线电子能谱（XPS）和纳米力学探针研究了薄膜的成分、结构及其性能。实验结果表明薄膜是由ZrCN和无定形碳两种纳米结构组成；气体流速对复合膜的的成分和结构有显著影响：随着混合气体流速的增加，薄膜的锆原子百分比减小，而N和C的含量逐渐增大，薄膜的硬度逐渐减小，ZrCN峰强度逐渐降低。