论文部分内容阅读
广东省光电子器件与系统重点实验室于2003年1月启动建设，2005年12月完成验收。实验室具有设施先进、功能完善、配套齐全、总面积达8200平方米的现代化实验大楼，实验室实际使用面积2444．85平方米。其中包括1200平方米的百级和万级净化实验室。实验室有完备的电子级超纯水制备系统、各种特殊气体输送系统等辅助设施。建立了显微分析、超快诊断技术等10多个测试实验室和真空光电子器件、半导体光电子材料与器件、平板显示器件等10多个工艺实验室。具有200多台套先进的科研仪器设备。仪器设备总值7783万元。目前，