【摘 要】
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近年来 ,有机金属气相外延 (OMVPE)技术已经成为高纯度半导体制备的最为广泛的方法。深入理解OMVPE的反应机制 ,对于OMVPE反应前体的选择、沉积系统的设计以及对掺杂剂的控制
【机 构】
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北京大学化学与分子工程学院稀土材料化学及应用国家重点实验室
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目 ,, 山东大学晶体材料国家重点实验室开放基金资助项目
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近年来 ,有机金属气相外延 (OMVPE)技术已经成为高纯度半导体制备的最为广泛的方法。深入理解OMVPE的反应机制 ,对于OMVPE反应前体的选择、沉积系统的设计以及对掺杂剂的控制等都显得很重要。但是 ,由于反应的复杂性 ,反应中大量不稳定中间体的产生 ,实验研究昂贵而困难 ;而且由于反应前体热力学和动力学数据的匮乏 ,也给实验结果的解释带来很大困难。因此 ,从量子力学基本原理出发 ,从理论上对OMVPE进行研究 ,获得化合物的热力学和动力学数据 ,以及得到OMVPE过程的微观化学反应图象 ,具有重要意
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