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详细介绍了激光微调厚薄膜电阻的基理、激光调阻系统的构成、激光器选择、光束定位扫描系统及实时检测原理,并给出了调阻过程中各种相关参数.
厚、薄膜电阻激光快速微调技术
【摘 要】
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详细介绍了激光微调厚薄膜电阻的基理、激光调阻系统的构成、激光器选择、光束定位扫描系统及实时检测原理,并给出了调阻过程中各种相关参数.
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
【出 处】
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光机电信息
【发表日期】
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2000年07期
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