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离子注入技术作为半导体领域中一项重要的掺杂工艺,将其应用到太阳电池中,可大幅提高电池转换效率。本文从工艺原理、工艺实现、关键技术难点、产业化情况等方面分析了离子注入技术。包括IBC电池在内,离子注入技术在未来高效晶硅电池中将扮演重要角色。
离子注入技术在高效晶硅太阳电池中的应用
【摘 要】
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离子注入技术作为半导体领域中一项重要的掺杂工艺,将其应用到太阳电池中,可大幅提高电池转换效率。本文从工艺原理、工艺实现、关键技术难点、产业化情况等方面分析了离子注
【机 构】
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中电投西安太阳能电力有限公司
【出 处】
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太阳能
【发表日期】
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2014年05期
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