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介绍了一种新型的底部对准系统，倍率的变化不是靠换不同物镜，而是靠变换辅助物镜焦距来变换倍率。x,y向工作台带动整支光路运动，不会给光路带来光轴偏离误差，z向调焦则通过前后移动物镜观察成像。
一种新型的底部对准光学系统设计
【摘 要】
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介绍了一种新型的底部对准系统，倍率的变化不是靠换不同物镜，而是靠变换辅助物镜焦距来变换倍率。x,y向工作台带动整支光路运动，不会给光路带来光轴偏离误差，z向调焦则通过前后移
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十五研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2012年12期
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