nMOSFET低能X射线辐照特性研究

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讨论了MOSFET的辐照损伤机理,通过低能(10keV)X射线辐照试验,分析了不同X射线辐照总剂量、不同剂量率对nMOSFET单管的转移特性以及阚值电压的影响,结果表明X射线辐照对nMOSFET的阈值电压变化的影响与60Co辐照影响的规律基本一致.
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