论文部分内容阅读
采用系统的正交实验法对ECR-CVD法沉积类金刚石碳膜（DLC）的优化工艺进行研究，并分析不同工艺参数对DLC膜性能的影响。共选择基片温度、H2流量、微波功率、直流偏压、脉冲偏压以及脉冲偏压占空比6个参数建立起6因素5水平的正交表，分别以薄膜摩擦因数、磨损率、显微硬度、拉曼谱中D峰与G峰的面积比ID／IC作为考察对象进行研究。极差分析表明，对不同的考察因素其优化工艺略有区别。在所选的参数范围内，脉冲偏压对所测量的DLC膜的性能影响最大。