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本文分析了ＡＣＰＤＰ保护膜对制备方法的特殊要求，描述了各种制备方法的优缺点，介绍了几种最后发展起来的新方法。提出了几种适用于ＡＣ ＰＤＰ保护膜制备的方法。
AC PDP保持保护膜的制备方法
【摘 要】
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本文分析了ＡＣＰＤＰ保护膜对制备方法的特殊要求，描述了各种制备方法的优缺点，介绍了几种最后发展起来的新方法。提出了几种适用于ＡＣ ＰＤＰ保护膜制备的方法。
【机 构】
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西安交通大学电子物理与器件研究所
【出 处】
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真空电子技术
【发表日期】
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1997年6期
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