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采用微波等离子体化学气相沉积法,以H2/CH4/CO2为混合气源,通过改变气源碳氧比,探讨了碳氧比对金刚石薄膜生长的影响。利用扫描电子显微镜（SEM）、X射线衍射（XRD）和Raman光谱表征金刚石薄膜的表面形貌、晶粒取向和结晶质量。结果表明,随着C/O比的降低,金刚石膜表面形貌由原来的（100）面为主转向（111）面为主的金字塔形,薄膜质量有所提高,内应力降低。