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甲基三氯硅烷（Me Si Cl3）是直接法生产甲基氯硅烷单体的中的关键副产物,其有效处理利用一直是有机硅工业届关注的难题。本文综述了将Me Si Cl3通过甲基氯化铝转化法、氢化氯铝转化法、直接加H2转化法、光氯化转化法制备其它高附加值氯硅烷单体的工艺方法,并对以上工艺路线的特点进行了分析评价。