【摘 要】
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多晶硅生产过程产生的工艺废气中含有氯硅烷、氮气、氢气、氯化氢等,传统的淋洗塔淋洗后废气放空的方法,造成了大量的氯硅烷的浪费、三废淋洗塔用水量大、污染物排放量大等问
【机 构】
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中国恩菲工程技术有限公司,北京,100038
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多晶硅生产过程产生的工艺废气中含有氯硅烷、氮气、氢气、氯化氢等,传统的淋洗塔淋洗后废气放空的方法,造成了大量的氯硅烷的浪费、三废淋洗塔用水量大、污染物排放量大等问题.本文通过对多晶硅工艺废气的成分分析,研究了一种新的方法将废气中氯硅烷回收,同时从根本上解决废气和废水中氯离子回收的问题,对多晶硅生产的经济效益和环境保护都有积极的作用.
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