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采用溶胶-凝胶工艺在Pt／Ti／SiO2／Si衬底上制备了Mn掺杂的钛酸锶铅钡PBST铁电薄膜．探讨了掺杂后PBST薄膜的微观结构及其铁介电性能．实验结果表明：随着Mn的掺杂量的增加，PBST薄膜的晶化质量变好，介电常数、介电损耗和调谐量均有减小的趋势，其优值因子有显著的提高．在测定频率为1MHz下，掺杂后的PBST薄膜介电常数和介电损耗呈下降趋势，薄膜的介电常数从未掺杂的1250降低至掺杂后的610，同时介电损耗由0．095减小到0．033，当Mn为J4mol％时，有最小的介电损耗0．033，虽然调谐量