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日前，从位于合肥市经济开发区的芯硕半导体（合肥）有限公司传来消息，国内首台具有世界领先水平、拥有自主知识产权的直写式光刻机即将在合肥面世．标志着我国亚微米级光刻机完全依赖进口的局面将被打破。
国内首台自主知识产权直写式光刻机将在肥面世
【摘 要】
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日前，从位于合肥市经济开发区的芯硕半导体（合肥）有限公司传来消息，国内首台具有世界领先水平、拥有自主知识产权的直写式光刻机即将在合肥面世．标志着我国亚微米级光刻机完全依赖
【机 构】
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《安徽科技》记者
【出 处】
：
安徽科技
【发表日期】
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2007年12期
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