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运用扩散偶技术并结合电子探针微区成分分析方法,对Ni-Ti-Si三元扩散偶进行了相分析,测得了Ni-Ti-Si三元系1 173 K下所生成的7个扩散层,即TiSi2、TiSi、Ti5Si4、Ti5Si3、Ti3Si、Nb5Si3和NbSi2;未发现三元化合物.根据实验所得的结线数据并结合扩散偶中的相区分布规则,得出了Nb-Ti-Si三元系1 173 K下的等温截面.