BaTiO3薄膜的Sol—Gel制备工艺及性能

来源 :哈尔滨理工大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zhengyunemo

【摘要】

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利用溶胶-凝胶法(Sol-Gel)在Pt/Ti/SiO2/Si(100)衬底上制备了BaTiO3薄膜,研究了不同退火条件下BaTiO3薄膜的晶相结构及表面形貌,测试了BaTiO3薄膜的电学性能.发现经900℃、12

【作者】

：

梁鸿东周方桥

【机构】

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广州大学理学院物理系

【出处】

：

哈尔滨理工大学学报

【发表日期】

：

2002年6期

【关键词】

：

制备工艺溶胶-凝胶法 BaTiO3薄膜弥散相变钛酸钡薄膜电学性能表面形貌铁电薄膜 Sol-Gel process BaTiO_3 thin film

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利用溶胶-凝胶法(Sol-Gel)在Pt/Ti/SiO2/Si(100)衬底上制备了BaTiO3薄膜,研究了不同退火条件下BaTiO3薄膜的晶相结构及表面形貌,测试了BaTiO3薄膜的电学性能.发现经900℃、120min退火处理的BaTiO3薄膜的介电-温度(εr-T)关系具有明显的弥散相变特性.

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