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论述了当前生产高纯多晶硅的方法,对一些方法进行了比较分析。高纯多晶硅生产方法主流是改良西门子技术。分析了新技术的发展状况,得出结论,冶金方法将不断成熟;在环境污染情况下,新硅烷方法将得到发展。
高纯多晶硅生产技术及发展现状
【摘 要】
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论述了当前生产高纯多晶硅的方法,对一些方法进行了比较分析。高纯多晶硅生产方法主流是改良西门子技术。分析了新技术的发展状况,得出结论,冶金方法将不断成熟;在环境污染情
【机 构】
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北洋国家精馏技术工程发展有限公司
【出 处】
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山西化工
【发表日期】
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2015年03期
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