Mo掺杂VO2薄膜的制备及其相变性能

来源 :东华大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户：luan0778

【摘要】

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以蓝宝石片（Al2O3）为基底,使用溅射氧化耦合法,通过氧化V/Mo/V结构的金属薄膜夹层制备了不同Mo掺杂量的VO_2薄膜,使用原子力电子显微镜、光电子能谱和四探针测试仪对薄膜的形貌

【作者】

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陈飞黄康顾聪聪徐晓峰

【机构】

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东华大学理学院

【出处】

：

东华大学学报(自然科学版)

【发表日期】

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2016年1期

【关键词】

：

二氧化钒 Mo掺杂相变特性智能窗 vanadium dioxide Mo-doped phase transition properties smart w

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以蓝宝石片（Al2O3）为基底,使用溅射氧化耦合法,通过氧化V/Mo/V结构的金属薄膜夹层制备了不同Mo掺杂量的VO_2薄膜,使用原子力电子显微镜、光电子能谱和四探针测试仪对薄膜的形貌、成分和相变特性进行了分析.结果表明：Mo元素成功掺杂进入VO_2的晶格,且VO_2薄膜相变温度从65.03℃降低至51.36℃,同时伴随着回滞宽度和相变数量级一定程度的减少.此试验成功改变了VO_2薄膜的相变温度,对于智能窗等方向的应用具有重要意义.

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