层间热处理对SiO2／ZrO2双层膜的影响

来源 :强激光与粒子束 | 被引量 : 0次 | 上传用户：superzf

【摘要】

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以正硅酸乙酯和丙醇锆为前驱体，用溶胶-凝胶法在K9基片上提拉镀制SiO2／ZrO2双层膜。采用不同实验步骤制备了2个样品，样品1镀完SiO2后直接镀ZrO2，样品2镀完SiO2经热处理后再镀ZrO2

【作者】

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章春来蒋晓东袁晓东向霞祖小涛王毕艺吕海兵郑万国

【机构】

：

中国工程物理研究院激光聚变研究中心,电子科技大学物理电子学院

【出处】

：

强激光与粒子束

【发表日期】

：

2008年9期

【关键词】

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SiO2/ZrO2双层膜溶胶-凝胶热处理椭偏模拟膜间渗透激光损伤阈值 Two-layer SiO2/ZrO2 films Sol-Gels Heat

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以正硅酸乙酯和丙醇锆为前驱体，用溶胶-凝胶法在K9基片上提拉镀制SiO2／ZrO2双层膜。采用不同实验步骤制备了2个样品，样品1镀完SiO2后直接镀ZrO2，样品2镀完SiO2经热处理后再镀ZrO2。采用原子力显微镜、椭偏仪、紫外-可见分光光度计对薄膜进行表征。针对SiO2／ZrO2双层膜，考虑到膜间渗透的影响，采用3层Cauchy模型进行椭偏模拟，椭偏参数的模拟值曲线与椭偏仪的测量值曲线十分吻合，进而发现热处理可以使SiO2／ZrO2双层膜之间的渗透减少近23nm，从而提高其峰值透射率。利用输出波长1．

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