【摘 要】
：
研究了Cu／Sn等温凝固键合技术在MEMS气密性封装中的应用。设计了等温凝固键合多层材料的结构和密封环图形，优化了键合工艺，对影响气密性的因素（如密封环尺寸等）进行了分析。在350
【机 构】
：
中国科学院上海微系统与信息技术研究所,中国科学院研究生院
论文部分内容阅读
研究了Cu／Sn等温凝固键合技术在MEMS气密性封装中的应用。设计了等温凝固键合多层材料的结构和密封环图形，优化了键合工艺，对影响气密性的因素（如密封环尺寸等）进行了分析。在350。C实现了良好的键合效果，其最大剪切强度达到27．7MPa，漏率～2×10^-4Pa·cm^3／s He，完全可以满足美国军方标准（MIL—STD-883E）的要求，验证了Cu／Sn等温凝固键合技术在MEMS气密封装中的适用性。
其他文献
【摘要】建构主义理论作为一种尝试，被各大高校采纳并开始用于大学生形势与政策的课堂教育中。建构主义作为一种新兴理论，它要求当代大学生在形势与政策这门课程的日常学习中，培养自己的探索意识及能力，对知识充分理解可以灵活运用；它也要求各高校能积极探索对当代大学生的认知，增加知识的有效性。形势与政策的学习是大学生对当前社会形式进行了解的重要途径，如何将建构主义学习理论合理利用，增强大学生在形势与政策课程的学
提出了一种满足IEEE802.11b标准发射机的低功耗高线性度ChebyshevI型低通滤波器的设计并已实现。该滤波器建立在高增益带宽积运放的基础上,采用Leapfrog结构,最大程度地减小
是谁说世人难涉过岁月的空濛？我却从婉约宋词间窥见你旧时的音容。任流年叹东风，我独绕过这冉冉的时光，在四月的落拓江南里与你共酌美酒。 斜阳已落了山头，你约我黄昏后，共乘兰舟漫溯这时光悠悠。你是否还记得那年露浓花瘦？你娉婷眉目含羞，倚门回首，却把枝头青梅拈来轻嗅。 可你只道是年少懵懂的梦，几番雨疏风骤，再几轮无常春秋，落花吹遍，谁敢把韶华轻送？有丝弦声弹诉着满腔悲愁，一曲参商暖透隔江的旧楼。你提裾
2017年7月5日，在百度AI開发者大会上，百度创始人李彦宏展示了一段自己乘坐无人驾驶汽车的情景。视频中，其所乘车辆处于自动驾驶状态，刚刚上五环。李彦宏的初衷是想向外界展示先进的技术，却没想到引起了一场关于“乘坐无人驾驶汽车上路是否违法”的全民大讨论，一时争议不断。 按照我国现行法规，机动车上路需要相关证件、检核合格等，而百度无人车无疑不具备相关条件，因此有交通业内人士称此举“肯定违法”。而公众
本文主要对城市园林植物景观效果设计、施工和后期管护这一系列园林工程措施的直接影响。施工质量较差而导致景观效果低劣的城市绿地。通过优化设计、规范施工程序、提高施工
国医大师施今墨有一条规矩,不管多忙,都要将药方上的字写得漂漂亮亮.他不仅这样严格要求自己,也要求每个跟着他学医的人都要如此.
无论如何，宇宙也是我们的生活场所。我们与曾生存过的人类一起仰望星空，而最终我们都会变成星尘。 ——马丁·里斯 一切的元素都产生于恒星内部氢原子与氦原子的核聚变。与地球上的一切一样，我们产生于早已灭绝的、散落的天体的遗骸。 我们不过是恒星的放射状尘埃而已。我们仍然不能明白宇宙的过去、现在抑或将来。 黑暗在远处那片未知里渗透一切，留给我们的这个看得见的世界大约只占宇宙的百分之四。 我们对环绕
【摘 要】西安美术学院着力强化实验教学跨学科专业教学的共享模式，把通识教育融入到实验和实践教学当中，从根本上支撑宽口径人才培养目标的要求，在高等美术教育改革中具有重要的现实意义。 【关键词】西安美术学院实验教学体系 实验教学 通识教育 实验教学跨学科专业共享模式的成因 艺术专业最大的特点在于其不确定性和延伸拓展方面，其专业概念的阐释具有不可穷尽的特征。专业界定由于受到地域文化需求以及学校自身
【摘 要】体育教师教学能力是指体育教师从事体育教学活动，完成体育教学任务的能力，是教师专业能力的核心。培养体育教育专业学生的教学能力是普通高校中体育院系的重要培养目标之一。学生教学能力的高低直接影响到将来的工作能力和《体育与健康课程标准》教学的实施与运用能力，以及体育教育事业和中小学学生终身体育意识的培养。笔者对西部地区部分高校中2007级体育教育专业本科学生的体育教学能力以及相关问题进行了实际调
高等数学作为一门重要的公共基础课程,在高职院校专业人才的培养中占有重要地位。高职高等数学课程为专业服务,可以促进课程教学内容的优化,推进课程教学方法与手段的改革,提