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介绍了一种基于静电执行的自对准型垂直镜面微机械光开关,该光开关由垂直反射镜面、悬臂梁、光纤定位槽等组成.微反射镜和V型光纤定位槽的自对准由同一块掩膜板实现.微反射镜和V字型光纤槽通过对(100)单晶硅的各向异性腐蚀实现.论文给出光开关的结构设计,并实验验证了上述自对准光开关的加工工艺.
MEMS静电执行光开关的设计与实验
【摘 要】
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介绍了一种基于静电执行的自对准型垂直镜面微机械光开关,该光开关由垂直反射镜面、悬臂梁、光纤定位槽等组成.微反射镜和V型光纤定位槽的自对准由同一块掩膜板实现.微反射镜
【机 构】
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东南大学MEMES教育部重点实验室
【出 处】
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电子器件
【发表日期】
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2003年3期
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